DIN 50441-5-2001
Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров.Часть 5. Термины, касающиеся отклонения от формы и плоскостности
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2001
Обозначение | DIN 50441-5-2001 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров.Часть 5. Термины, касающиеся отклонения от формы и плоскостности |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation |
Дата опубликования | 01.04.2001 |
МКС | 01.040.29*29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-5(1998-05) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 11 |
Перекрестные ссылки | DIN 50441-1(1996-07)* DIN 50441-3(1985-09)* ASTM F 534(1997)* ASTM F 657(1992)* ASTM F 1451(1992)* |
Код цены | Preisgruppe 8 |