DIN 50451-3-1994
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение следов металла в жидкостях. Определение содержания алюминия, кобальта, меди, натрия, никеля, цинка в азотной кислоте методом ICP-MS
Статус: Дата введения в действие: 01.10.1994
| Обозначение | DIN 50451-3-1994 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение следов металла в жидкостях. Определение содержания алюминия, кобальта, меди, натрия, никеля, цинка в азотной кислоте методом ICP-MS |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of metals in liquids - Part 3: Al, Co, Cu, Na, Ni and Zn in nitric acid with ICP-MS |
| Дата опубликования | 01.10.1994 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-3(1991-08) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50451-3(2003-04) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 8120-1(1981-07)* DIN 12650-2(1981-10)* DIN 12664-1(1983-08)* DIN 32645(1994-05)* DIN 51401-1(1992-11)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |