DIN 50451-6-2014
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 6. Определение 36 элемента в сверхчистом растворе фтористого аммония (NH<(Индекс)>F) и в травильных смесях сверхчистого раствора фтористого аммония, содержащего фтористоводородную кислоту
Статус: Дата введения в действие: 01.11.2014
| Обозначение | DIN 50451-6-2014 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 6. Определение 36 элемента в сверхчистом растворе фтористого аммония (NH<(Индекс)>F) и в травильных смесях сверхчистого раствора фтористого аммония, содержащего фтористоводородную кислоту |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH<(Index)4>F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid |
| Дата опубликования | 01.11.2014 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-6(2012-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 14 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32645(2008-11)* DIN 50451-5(2010-03)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(1997-05)(Draft)* DIN EN ISO 17294-2(2005-02)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* DIN ISO 5725-4(2003-01)* |
| Код цены | Preisgruppe 9 |