DIN 50446-1995
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение типов и плотности дефектов в эпитаксиальных слоях кремния
Статус: Дата введения в действие: 01.09.1995
| Обозначение | DIN 50446-1995 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение типов и плотности дефектов в эпитаксиальных слоях кремния |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of defect types and defect densities of silicon epitaxial layers |
| Дата опубликования | 01.09.1995 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50446(1992-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 10 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50433-1(1976-12)* DIN 50434(1986-02)* DIN 50436(1976-10)* DIN 50441-2(1982-04)* DIN 50443-1(1988-07)* DIN 50454-1(1991-11)* ASTM F 47(1987)* ASTM F 80a(1988)* ASTM F 154(1984)* ASTM F 522(1984)* ASTM F 523(1983)* ASTM F 815(1983)* ASTM F 928(1986)* ASTM F 1049(1987)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |