DIN 50453-2-1990
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Покрытие из диоксида кремния, оптический метод
Статус: Дата введения в действие: 01.10.1990
| Обозначение | DIN 50453-2-1990 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Покрытие из диоксида кремния, оптический метод |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium-dioxid coating; optical method |
| Дата опубликования | 01.10.1990 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50453-2(1989-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50435-1* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |