DIN 50451-2-1990
Кислота плавиковая для полупроводниковой технологии. Определение следов кобальта, хрома, меди, железа и никеля методом эмиссионной спектрометрии в плазме
Статус: Дата введения в действие: 01.10.1990
| Обозначение | DIN 50451-2-1990 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Кислота плавиковая для полупроводниковой технологии. Определение следов кобальта, хрома, меди, железа и никеля методом эмиссионной спектрометрии в плазме |
| Заглавие на английском языке | Determination of cobalt, chromium, copper, iron and nickel as impurities in hydrofluoric acid for use in semiconductor technology by plasma-induced emission spectrometry |
| Дата опубликования | 01.10.1990 |
| МКС | 29.045 |
| Аннотация (область применения) | The standard defines the test method for the determination of traces of the metals Co, Cr, Cu, Fe and Ni in hydrofluoric acid used in the semicondictor technology. |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-2(1988-11) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50451-2(2003-04) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 8120-1(1981-07)* DIN 12650-2(1981-10)* DIN 12664-1(1983-08)* DIN 38402-43(1984-12)(Draft)* DIN 51401-1(1983-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |