DIN 50455-1-1991
Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Определение толщины покрытия оптическими методами
Статус: Дата введения в действие: 01.06.1991
| Обозначение | DIN 50455-1-1991 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Определение толщины покрытия оптическими методами |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods |
| Дата опубликования | 01.06.1991 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50455-1(1990-04) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50455-1(2009-10) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 3 |
| Перекрестные ссылки | VDI 2083 Blatt 3(1983-02)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |