DIN 50452-2-2009
Испытания материалов для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа в жидкотях. Часть 2. Определение частиц с применением оптических счетчиков
Статус: Дата введения в действие: 01.10.2009
| Обозначение | DIN 50452-2-2009 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытания материалов для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа в жидкотях. Часть 2. Определение частиц с применением оптических счетчиков |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 2: Determination of particles by optical particle counters |
| Дата опубликования | 01.10.2009 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50452-2(1991-03) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Перекрестные ссылки | DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |