DIN 50455-1-2009
Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Часть 1. Определение толщины покрытия оптическими методами
Статус: Дата введения в действие: 01.10.2009
| Обозначение | DIN 50455-1-2009 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Часть 1. Определение толщины покрытия оптическими методами |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 1: Determination of coating thickness with optical methods |
| Дата опубликования | 01.10.2009 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50455-1(1991-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 8 |
| Перекрестные ссылки | DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* |
| Код цены | Preisgruppe 6 |