DIN 50447-1995
Материалы для полупроводниковой технологии. Бесконтактное измерение электрического поверхностного сопротивления полупроводниковых слоев методом вихревых токов
Статус: Дата введения в действие: 01.04.1995
| Обозначение | DIN 50447-1995 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Бесконтактное измерение электрического поверхностного сопротивления полупроводниковых слоев методом вихревых токов |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical sheet resistance of semiconductor layers with the eddy-current method |
| Дата опубликования | 01.04.1995 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50447(1994-04) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50445(1992-04)* ASTM F 673(1990)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |