DIN 50450-1-1987
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелие при помощи ячейки с пентаоксидом фосфора
Статус: Дата введения в действие: 01.08.1987
| Обозначение | DIN 50450-1-1987 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелие при помощи ячейки с пентаоксидом фосфора |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell |
| Дата опубликования | 01.08.1987 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-1(1985-02) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 1310(1984-02)* DIN ISO 6146(1983-04)* VDI 3490 Blatt 3(1980-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |