DIN 50452-3-1995
Жидкости для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа. Часть 3. Калибровка оптических счетчиков частиц
Статус: Дата введения в действие: 01.10.1995
| Обозначение | DIN 50452-3-1995 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Жидкости для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа. Часть 3. Калибровка оптических счетчиков частиц |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters |
| Дата опубликования | 01.10.1995 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50452-3(1993-08) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 6 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50452-2(1991-03)* ASTM F 658(1987)* ASTM F 1226(1989)* |
| Код цены | Preisgruppe 6 |