DIN 50441-3-1985
Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Определение отклонения от плоскостности полированных пластин методом многолучевой интерференции
Статус: Дата введения в действие: 01.09.1985
| Обозначение | DIN 50441-3-1985 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Определение отклонения от плоскостности полированных пластин методом многолучевой интерференции |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; measurement of the geometric dimensions of semiconductor slices; determination of flatness deviation of polished slices by means of the multiple beam interference |
| Дата опубликования | 01.09.1985 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-3(1984-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Количество страниц перевода | 12 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50441-2(1982-04)* SEMI M1-83* US Federal Standard 209* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |