DIN 50453-3-2001
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Часть 3. Алюминий, гравиметрический метод
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2001
| Обозначение | DIN 50453-3-2001 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Часть 3. Алюминий, гравиметрический метод |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of etch rates of etching mixtures - Part 3: Aluminium, gravimetric method |
| Дата опубликования | 01.04.2001 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50453-3(1999-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Перекрестные ссылки | DIN 862(1988-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |