DIN 50453-1-1990
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Монокристаллы кремния, гравиметрический метод
Статус: Дата введения в действие: 01.10.1990
| Обозначение | DIN 50453-1-1990 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение скорости травления травильных смесей. Монокристаллы кремния, гравиметрический метод |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method |
| Дата опубликования | 01.10.1990 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50453-1(1989-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 3 |
| Код цены | Preisgruppe 5 |