DIN EN 62047-26-2016
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2016
| Обозначение | DIN EN 62047-26-2016 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016); German version EN 62047-26:2016 |
| Дата опубликования | 01.12.2016 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-26(2014-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 29 |
| Перекрестные ссылки | ISO/IEC Guide 98-3(2008-09)* ISO 129-1(2004-09)* ISO 3274(1996-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 17 |