DIN EN ISO 14644-14-2017
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности к использованию оборудования путем определения концентрации взвешенных в воздухе частиц
Статус: Дата введения в действие: 01.01.2017
| Обозначение | DIN EN ISO 14644-14-2017 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности к использованию оборудования путем определения концентрации взвешенных в воздухе частиц |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016 |
| Дата опубликования | 01.01.2017 |
| МКС | 13.040.35 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN ISO 14644-14(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 30 |
| Перекрестные ссылки | DIN EN ISO 14644-1(2016-06)* ISO 8573-8(2004-02)* ISO 14644-1(2015-12)* ISO 14644-3(2005-12)* ISO 14644-7(2004-10)* ISO 14644-9(2012-08)* JIS B 9926(1991-03-01)* VDI 2083 Blatt 9.1(2006-12)* AIR 1167* SEMI E49-1104* SEMI F28-1103* SEMI F70-0611* SEMI G67-0996* |
| Код цены | Preisgruppe 14 |