DIN 50451-7-2018
Испытания материалов для полупроводниковых технологий. Определение следовых элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2018
| Обозначение | DIN 50451-7-2018 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытания материалов для полупроводниковых технологий. Определение следовых элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS |
| Дата опубликования | 01.04.2018 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-7(2017-09) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 14 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50451-5(2010-03)* DIN 51009(2013-11)* DIN EN ISO 1042(1999-08)* DIN EN ISO 1043-1(2016-09)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(2016-06)* DIN EN ISO 17294-2(2017-01)* DIN ISO 3696(1991-06)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* DIN ISO 5725-4(2003-01)* ASTM D 5127(2013)* VDI 2083 Blatt 1(2013-01)* |
| Код цены | Preisgruppe 9 |