DIN IEC/IEEE 62659-2019
Нанопроизводство. Крупносерийное производство наноэлектроники
Статус: Дата введения в действие: 01.09.2019
Обозначение | DIN IEC/IEEE 62659-2019 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Нанопроизводство. Крупносерийное производство наноэлектроники |
Заглавие на английском языке | Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics (IEC/IEEE 62659:2015) |
Дата опубликования | 01.09.2019 |
МКС | 07.120 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62659(2013-09) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 12 |
Перекрестные ссылки | IEC/PAS 62565-2-1(2011-03)* IEC 62624(2009-08)* ISO 14644-1(2015-12)* ISO 14644-2(2015-12)* ISO 14644-3(2005-12)* ISO 14644-4(2001-04)* ISO 14644-5(2004-08)* ISO 14644-6(2007-07)* ISO 14644-7(2004-10)* ISO 14644-8(2013-02)* ISO 14698-1(2003-09)* ISO 14698-2(2003-09)* ISO/TS 27687(2008-08)* ISO/TS 80004-1(2015-12)* ISO/TS 80004-3(2010-05)* |