IEC/TR 63258(2021)
Нанотехнологии. Руководство по применению эллипсометрии для оценки толщины наноразмерных пленок
Статус: Действует Дата введения в действие: 19.03.2021
| Обозначение | IEC/TR 63258(2021) |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Нанотехнологии. Руководство по применению эллипсометрии для оценки толщины наноразмерных пленок |
| Заглавие на английском языке | Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films |
| МКС | 07.120 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 19.03.2021 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 21 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 113 |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | F |