DIN EN ISO 14644-17-2021
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Примеры использования результатов измерения скорости осаждения частиц (ISO 14644-17:2021); Немецкая версия EN ISO 14644-17:2021
Статус: Дата введения в действие: 01.06.2021
| Обозначение | DIN EN ISO 14644-17-2021 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Примеры использования результатов измерения скорости осаждения частиц (ISO 14644-17:2021); Немецкая версия EN ISO 14644-17:2021 |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021); German version EN ISO 14644-17:2021 |
| Дата опубликования | 01.06.2021 |
| МКС | 13.040.35 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN ISO 14644-17(2019-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 36 |