DIN 50450-9-2021
Испытание материалов, применяемых в полупроводниковой технологии. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение содержания кислорода, азота, моноксида углерода, диоксида углерода и углеводородов С1 - С3 в газообразном гидрохлориде с помощью газовой хроматографии
Статус: Дата введения в действие: 01.07.2021
| Обозначение | DIN 50450-9-2021 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в полупроводниковой технологии. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение содержания кислорода, азота, моноксида углерода, диоксида углерода и углеводородов С1 - С3 в газообразном гидрохлориде с помощью газовой хроматографии |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C<(Index)1>-C<(Index)3>-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography |
| Дата опубликования | 01.07.2021 |
| МКС | 29.045*71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-9(2003-04)*DIN 50450-9(2020-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 8 |