ГОСТ Р 71334-2024
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
Статус: Принят Дата введения в действие: 01.03.2025
| Обозначение | ГОСТ Р 71334-2024 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ Р 71334-2024 |
| Заглавие на русском языке | Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции |
| Заглавие на английском языке | Epitaxial structures. Мethod for measuring the thickness of epitaxial silicon layers in structures of the silicon-on-sapphire type based on IR interference |
| Дата введения в действие | 01.03.2025 |
| ОКС | 33.060.99 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры, применяемые для изготовления изделий электронной компонентной базы, и устанавливает метод интерференции для измерения толщины эпитаксиальных слоев в структурах кремний на сапфире (КНС) |
| Ключевые слова | эпитаксиальные структуры, ИК-интерференция, метод измерения толщины пленки |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 12.1.004; ГОСТ 12.2.007.0; ГОСТ 12.2.003; ГОСТ 12.3.019; ГОСТ 427; ГОСТ 33075; ГОСТ Р 8.568; ГОСТ Р ИСО 14644-1; |
| Управление Ростехрегулирования | 1 - Управление стандартизации |
| Технический комитет России | 303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование |
| Дата последнего издания | 19.04.2024 |
| Количество страниц (оригинала) | 8 |
| Организация - Разработчик | Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт») |
| Статус | Принят |
| Код цены | 1 |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 476-ст |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 17.04.2024 |